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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-02-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180315283 IPC(主分类):C23C 16/32 专利申请号:2011101820926 申请日:20110630 |
| 2013-07-10 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101628023205 IPC(主分类):C23C 16/32 专利申请号:2011101820926 申请公布日:20111116 |
| 2011-11-16 | 公开 | 公开 |