一种金属掺杂无氢类金刚石碳膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210519829.3

申请日：

2012-12-07

公开(公告)号：

CN102965618A

公开(公告)日：

2013-03-13

发明(设计)人：

岳文王松付志强王成彪于翔彭志坚庞天舒

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路29号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-13	公开	公开
2016-07-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736449314 IPC(主分类):C23C 14/06 专利申请号:2012105198293 申请公布日:20130313

共 50 条

[1]

一种多元金属掺杂无氢类金刚石碳膜的制备方法 [P].

岳文 ;

王松 ;

付志强 ;

王成彪 ;

于翔 ;

彭志坚 .

中国专利 :CN102965619A ,2013-03-13

[2]

在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 [P].

张俊彦 ;

张斌 ;

强力 ;

杨涛 ;

郑愉 .

中国专利 :CN103160801B ,2013-06-19

[3]

钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用 [P].

江晓红 ;

肖金涛 ;

何纯 .

中国专利 :CN109423605A ,2019-03-05

[4]

去除类金刚石碳膜的方法 [P].

萧博元 .

中国专利 :CN101058894B ,2007-10-24

[5]

一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法 [P].

王立平 ;

张广安 ;

薛群基 .

中国专利 :CN101665904A ,2010-03-10

[6]

类金刚石碳膜成膜装置及形成类金刚石碳膜的方法 [P].

大竹尚登 ;

松尾诚 ;

岩本喜直 .

中国专利 :CN102112650A ,2011-06-29

[7]

类金刚石碳膜及其制备方法 [P].

洪昭南 ;

徐逸明 ;

王亮钧 ;

李志勇 ;

陈彦政 ;

陈俊钦 ;

李家欣 ;

王俊尧 ;

梁国超 .

中国专利 :CN1782123A ,2006-06-07

[8]

一种复合类金刚石碳膜及其制备方法 [P].

张世宏 ;

赵培云 ;

李福星 ;

陈蒙 .

中国专利 :CN107034440B ,2017-08-11

[9]

一种退除钢铁表面类金刚石碳膜的方法 [P].

汪爱英 ;

张栋 ;

孙丽丽 .

中国专利 :CN101629319A ,2010-01-20

[10]

类金刚石碳膜的处理方法 [P].

王汉德 .

中国专利 :CN120366725A ,2025-07-25

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