抛光浆料组合物

被引：0

申请号：

CN202111553199.7

申请日：

2021-12-17

公开(公告)号：

CN114644889A

公开(公告)日：

2022-06-21

发明(设计)人：

黄珍淑孔铉九金伦秀

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

杜兆东

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-21	公开	公开
2022-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20211217

共 50 条

[21]

用于抛光铜的组合物和方法 [P].

T·M·托马斯 ;

J·K·苏 .

中国专利 :CN1629238A ,2005-06-22

[22]

金属抛光用浆料组合物 [P].

黄珍淑 ;

孔铉九 ;

金伦秀 .

韩国专利 :CN117980424A ,2024-05-03

[23]

抛光浆料 [P].

金大亨 ;

洪锡敏 ;

金容国 ;

金东炫 ;

徐明源 ;

朴在勤 ;

白云揆 .

中国专利 :CN1818002B ,2006-08-16

[24]

可调控的去除阻隔物的抛光浆料 [P].

葉倩萩 ;

M·R·范哈内亨 ;

J·匡茨 .

中国专利 :CN100369998C ,2006-03-29

[25]

抛光浆料及其制备方法和抛光基板的方法 [P].

金大亨 ;

洪锡敏 ;

全宰贤 ;

白云揆 ;

朴在勤 ;

金容国 .

中国专利 :CN101092543B ,2007-12-26

[26]

抛光浆料及其制备方法和抛光基板的方法 [P].

金大亨 ;

洪锡敏 ;

全宰贤 ;

白云揆 ;

朴在勤 ;

金容国 .

中国专利 :CN1737071A ,2006-02-22

[27]

浆料组合物、制备浆料组合物的方法以及使用浆料组合物抛光物体的方法 [P].

苏在贤 ;

文成泽 ;

李东峻 ;

金男寿 ;

安峰秀 ;

姜景汶 .

中国专利 :CN1737885A ,2006-02-22

[28]

聚合物阻隔移除抛光浆料 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN102367366A ,2012-03-07

[29]

用于铜的受控抛光的组合物和方法 [P].

J·G·阿梅恩 ;

R·L·小拉瓦伊 ;

J·匡西 ;

J·K·索 ;

T·M·托马斯 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN1644640A ,2005-07-27

[30]

浆料组合物以及基材抛光方法 [P].

北村启 ;

增田刚 ;

松村义之 .

中国专利 :CN105308129B ,2016-02-03

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