一种卡盘装置

被引：0

申请号：

CN202222535082.2

申请日：

2022-09-23

公开(公告)号：

CN218039159U

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

孙嘉琦谈太德杨辰烨冯鹏

申请人：

申请人地址：

110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

刘桐亚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种静电卡盘装置 [P].

杨鹏远 ;

王建冲 ;

张玉利 ;

唐娜娜 ;

侯占杰 ;

王超星 ;

黎远成 ;

何宏庆 ;

樊文凤 .

中国专利 :CN213936153U ,2021-08-10

[2]

一种卡盘装置 [P].

袁淑华 ;

宋昆鹏 ;

李法祥 ;

谢庆林 ;

夏存森 .

中国专利 :CN214263941U ,2021-09-24

[3]

卡盘装置 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN209571402U ,2019-11-01

[4]

一种卡盘装置 [P].

赵宏亮 ;

高津平 ;

边晓东 ;

刘豫东 ;

谢珩 ;

周立庆 .

中国专利 :CN109686696A ,2019-04-26

[5]

一种卡盘装置 [P].

林鹏 ;

钟贞文 ;

卢隆贵 .

中国专利 :CN205309362U ,2016-06-15

[6]

一种卡盘装置 [P].

张巍巍 .

中国专利 :CN202025730U ,2011-11-02

[7]

一种卡盘装置 [P].

蒋修青 ;

蒋泽锋 ;

朱小杰 .

中国专利 :CN215699266U ,2022-02-01

[8]

一种卡盘装置 [P].

张家亮 ;

王东 ;

刘欠洋 ;

宋克明 ;

刘斌 ;

李一 ;

程京 .

中国专利 :CN214417695U ,2021-10-19

[9]

一种卡盘装置 [P].

寇侠 ;

肖勇 ;

屈晔南 ;

孙勇 ;

李前进 ;

周彩霞 ;

杨俊 .

中国专利 :CN215370658U ,2021-12-31

[10]

一种用于静电卡盘的检测机构 [P].

张劲 ;

卢合强 ;

沈斌 .

中国专利 :CN221841797U ,2024-10-15

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