一种卡盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811619621.2

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN109686696A

公开(公告)日：

2019-04-26

发明(设计)人：

赵宏亮高津平边晓东刘豫东谢珩周立庆

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

黄彩荣

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20190426
2019-04-26	公开	公开
2019-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20181227

共 50 条

[1]

一种静电卡盘装置 [P].

杨鹏远 ;

王建冲 ;

张玉利 ;

唐娜娜 ;

侯占杰 ;

王超星 ;

黎远成 ;

何宏庆 ;

樊文凤 .

中国专利 :CN213936153U ,2021-08-10

[2]

一种卡盘装置 [P].

蒋修青 ;

蒋泽锋 ;

朱小杰 .

中国专利 :CN215699266U ,2022-02-01

[3]

一种卡盘装置 [P].

左国军 ;

蔡嘉雄 ;

邱开宇 ;

陈大鹏 ;

王雨 .

中国专利 :CN117276181B ,2024-02-23

[4]

一种卡盘装置 [P].

孙嘉琦 ;

谈太德 ;

杨辰烨 ;

冯鹏 .

中国专利 :CN218039159U ,2022-12-13

[5]

一种卡盘装置 [P].

蒋修青 ;

蒋泽锋 ;

朱小杰 .

中国专利 :CN113618316A ,2021-11-09

[6]

一种用于固定晶片并可区域控温的卡盘装置 [P].

申浩南 ;

刘利坚 .

中国专利 :CN101465312A ,2009-06-24

[7]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

许岩 ;

杨鹏远 ;

穆海华 ;

成荣 ;

唐娜娜 ;

韩玮琦 ;

张鸣 ;

杨开明 .

中国专利 :CN107154376A ,2017-09-12

[8]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

许岩 ;

穆海华 ;

王建冲 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN205406505U ,2016-07-27

[9]

陶瓷静电卡盘装置 [P].

徐登峰 ;

朱煜 ;

许岩 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

侯占杰 ;

唐娜娜 ;

雷忠兴 ;

王建冲 ;

韩玮琦 .

中国专利 :CN206022339U ,2017-03-15

[10]

一种卡盘辅助夹持装置 [P].

于银 ;

孙学斌 ;

赵兴建 .

中国专利 :CN120940814A ,2025-11-14

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