碳化硅材料腐蚀炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210105183.4

申请日：

2012-04-11

公开(公告)号：

CN102607923B

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

董林孙国胜赵万顺王雷刘兴昉刘斌张峰闫果果郑柳刘胜北

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

G01N132

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

汤保平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	公开	公开
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328714005 IPC(主分类):G01N 1/32 专利申请号:2012101051834 申请日:20120411
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663112296 IPC(主分类):G01N 1/32 专利号:ZL2012101051834 申请日:20120411 授权公告日:20140409 终止日期:20150411
2014-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉 [P].

崔孟华 ;

蔡凯 ;

王军 ;

周维 .

中国专利 :CN213476159U ,2021-06-18

[2]

一种高性能碳化硅材料腐蚀炉 [P].

殷祥凯 ;

赵丽霞 ;

侯晓蕊 ;

王光耀 ;

杨牧轩 ;

潘琳茹 ;

杨晋 ;

田蕾 ;

宋红英 ;

田鑫龙 ;

贾杰 ;

韩国鑫 ;

马宝 .

中国专利 :CN217006621U ,2022-07-19

[3]

一种碳化硅材料制备方法、碳化硅材料及碳化硅部件 [P].

杜宗伟 ;

杨佐东 ;

罗春 ;

陈欣 ;

张文平 .

中国专利 :CN120138603A ,2025-06-13

[4]

碳化硅腐蚀炉及其控制方法 [P].

苗家旺 ;

吕芳栋 ;

罗鸿 ;

郝运达 .

中国专利 :CN118064984A ,2024-05-24

[5]

新型碳化硅材料 [P].

卜沈宝 .

中国专利 :CN109180202A ,2019-01-11

[6]

碳化硅冶炼炉 [P].

贾玉东 .

中国专利 :CN2457544Y ,2001-10-31

[7]

碳化硅腐蚀炉快速冷却系统 [P].

苗家旺 ;

吕芳栋 ;

罗鸿 ;

郝运达 .

中国专利 :CN222801747U ,2025-04-25

[8]

碳化硅沉积炉 [P].

李太平 ;

蒋根同 ;

曹立华 ;

唐丽 .

中国专利 :CN220300921U ,2024-01-05

[9]

碳化硅炉底板 [P].

吴俊杰 .

中国专利 :CN301481517S ,2011-03-16

[10]

碳化硅生长装置和碳化硅生长炉 [P].

林育仪 .

中国专利 :CN220788875U ,2024-04-16

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