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碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202021965426.8
申请日
:
2020-09-09
公开(公告)号
:
CN213476159U
公开(公告)日
:
2021-06-18
发明(设计)人
:
崔孟华
蔡凯
王军
周维
申请人
:
申请人地址
:
518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
IPC主分类号
:
C30B3312
IPC分类号
:
C30B2936
G01N132
代理机构
:
深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325
代理人
:
谭果林
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-18
授权
授权
共 50 条
[1]
碳化硅材料腐蚀炉
[P].
董林
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董林
;
孙国胜
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孙国胜
;
赵万顺
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赵万顺
;
王雷
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王雷
;
刘兴昉
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刘兴昉
;
刘斌
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刘斌
;
张峰
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张峰
;
闫果果
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闫果果
;
郑柳
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郑柳
;
刘胜北
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刘胜北
.
中国专利
:CN102607923B
,2012-07-25
[2]
碳化硅腐蚀炉及其控制方法
[P].
苗家旺
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
苗家旺
;
吕芳栋
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
吕芳栋
;
罗鸿
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
罗鸿
;
郝运达
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
郝运达
.
中国专利
:CN118064984A
,2024-05-24
[3]
碳化硅腐蚀炉快速冷却系统
[P].
苗家旺
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
苗家旺
;
吕芳栋
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
吕芳栋
;
罗鸿
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
罗鸿
;
郝运达
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
郝运达
.
中国专利
:CN222801747U
,2025-04-25
[4]
碳化硅沉积炉
[P].
李太平
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机构:
成都鑫京栀科技有限公司
成都鑫京栀科技有限公司
李太平
;
蒋根同
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机构:
成都鑫京栀科技有限公司
成都鑫京栀科技有限公司
蒋根同
;
曹立华
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成都鑫京栀科技有限公司
成都鑫京栀科技有限公司
曹立华
;
唐丽
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机构:
成都鑫京栀科技有限公司
成都鑫京栀科技有限公司
唐丽
.
中国专利
:CN220300921U
,2024-01-05
[5]
碳化硅生长装置和碳化硅生长炉
[P].
林育仪
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机构:
通威微电子有限公司
通威微电子有限公司
林育仪
.
中国专利
:CN220788875U
,2024-04-16
[6]
碳化硅炉底板
[P].
吴俊杰
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吴俊杰
.
中国专利
:CN301481517S
,2011-03-16
[7]
锅炉碳化硅炉拱
[P].
贾世恒
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贾世恒
;
程善智
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程善智
;
王善臣
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王善臣
.
中国专利
:CN2254510Y
,1997-05-21
[8]
碳化硅冶炼炉
[P].
贾玉东
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贾玉东
.
中国专利
:CN2473577Y
,2002-01-23
[9]
碳化硅长晶炉
[P].
舒健
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机构:
新余赛维铸晶技术有限公司
新余赛维铸晶技术有限公司
舒健
;
李松林
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机构:
新余赛维铸晶技术有限公司
新余赛维铸晶技术有限公司
李松林
;
李小平
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新余赛维铸晶技术有限公司
新余赛维铸晶技术有限公司
李小平
;
莫小伟
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机构:
新余赛维铸晶技术有限公司
新余赛维铸晶技术有限公司
莫小伟
;
李建敏
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机构:
新余赛维铸晶技术有限公司
新余赛维铸晶技术有限公司
李建敏
.
中国专利
:CN222666102U
,2025-03-25
[10]
碳化硅冶炼炉
[P].
贾玉东
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贾玉东
.
中国专利
:CN2457544Y
,2001-10-31
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