碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021965426.8
申请日
2020-09-09
公开(公告)号
CN213476159U
公开(公告)日
2021-06-18
发明(设计)人
崔孟华 蔡凯 王军 周维
申请人
申请人地址
518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
IPC主分类号
C30B3312
IPC分类号
C30B2936 G01N132
代理机构
深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325
代理人
谭果林
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
碳化硅材料腐蚀炉 [P]. 
董林 ;
孙国胜 ;
赵万顺 ;
王雷 ;
刘兴昉 ;
刘斌 ;
张峰 ;
闫果果 ;
郑柳 ;
刘胜北 .
中国专利 :CN102607923B ,2012-07-25
[2]
碳化硅腐蚀炉及其控制方法 [P]. 
苗家旺 ;
吕芳栋 ;
罗鸿 ;
郝运达 .
中国专利 :CN118064984A ,2024-05-24
[3]
碳化硅腐蚀炉快速冷却系统 [P]. 
苗家旺 ;
吕芳栋 ;
罗鸿 ;
郝运达 .
中国专利 :CN222801747U ,2025-04-25
[4]
碳化硅沉积炉 [P]. 
李太平 ;
蒋根同 ;
曹立华 ;
唐丽 .
中国专利 :CN220300921U ,2024-01-05
[5]
碳化硅生长装置和碳化硅生长炉 [P]. 
林育仪 .
中国专利 :CN220788875U ,2024-04-16
[6]
碳化硅炉底板 [P]. 
吴俊杰 .
中国专利 :CN301481517S ,2011-03-16
[7]
锅炉碳化硅炉拱 [P]. 
贾世恒 ;
程善智 ;
王善臣 .
中国专利 :CN2254510Y ,1997-05-21
[8]
碳化硅冶炼炉 [P]. 
贾玉东 .
中国专利 :CN2473577Y ,2002-01-23
[9]
碳化硅长晶炉 [P]. 
舒健 ;
李松林 ;
李小平 ;
莫小伟 ;
李建敏 .
中国专利 :CN222666102U ,2025-03-25
[10]
碳化硅冶炼炉 [P]. 
贾玉东 .
中国专利 :CN2457544Y ,2001-10-31