碳化硅腐蚀炉快速冷却系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420644859.5

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN222801747U

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

苗家旺吕芳栋罗鸿郝运达

申请人：

通威微电子有限公司

申请人地址：

610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

杨勋

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉 [P].

崔孟华 ;

蔡凯 ;

王军 ;

周维 .

中国专利 :CN213476159U ,2021-06-18

[2]

碳化硅材料腐蚀炉 [P].

董林 ;

孙国胜 ;

赵万顺 ;

王雷 ;

刘兴昉 ;

刘斌 ;

张峰 ;

闫果果 ;

郑柳 ;

刘胜北 .

中国专利 :CN102607923B ,2012-07-25

[3]

一种特高压碳化硅换流阀冷却系统 [P].

周建辉 ;

韩海银 ;

张静 ;

孙立军 ;

王航 ;

高冲 ;

贺之渊 ;

查鲲鹏 .

中国专利 :CN206596322U ,2017-10-27

[4]

冷却系统和碳化硅高温热处理设备 [P].

傅林坚 ;

孙菁阳 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

刘毅 ;

李佳怡 .

中国专利 :CN220420531U ,2024-01-30

[5]

快速冷却系统及卧式无氧碳化炉 [P].

郭志军 ;

杨兰贺 ;

陈瑶 ;

宋宾宾 ;

吴建祥 .

中国专利 :CN216427208U ,2022-05-03

[6]

一种碳化硅冷凝器的冷却系统 [P].

牟俊玲 ;

姬广建 ;

刘金泉 .

中国专利 :CN216925200U ,2022-07-08

[7]

一种特高压碳化硅换流阀冷却系统 [P].

周建辉 ;

韩海银 ;

张静 ;

王庆 ;

肖鲲 ;

黄勇 ;

宋胜利 ;

丁一工 ;

孙立军 ;

王航 ;

高冲 ;

贺之渊 ;

查鲲鹏 .

中国专利 :CN108260322A ,2018-07-06

[8]

碳化硅晶片腐蚀篮具 [P].

廖建成 ;

陈增强 .

中国专利 :CN221651461U ,2024-09-03

[9]

碳化硅沉积炉 [P].

李太平 ;

蒋根同 ;

曹立华 ;

唐丽 .

中国专利 :CN220300921U ,2024-01-05

[10]

碳化硅生长装置和碳化硅生长炉 [P].

林育仪 .

中国专利 :CN220788875U ,2024-04-16

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