一种轻离子溅射刻蚀制备磁性隧道结的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611193599.0

申请日：

2016-12-21

公开(公告)号：

CN108232004A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

张云森

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区城北路235号二号楼二层

IPC主分类号：

H01L4308

IPC分类号：

H01L4312 H01L21306 G11C1116

代理机构：

上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287

代理人：

于晓菁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-29	公开	公开
2022-09-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 43/08 申请公布日:20180629
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/08 申请日:20161221

共 50 条

[1]

磁性隧道结刻蚀方法 [P].

王曙光 ;

钱虓 ;

杨成成 ;

冀正辉 ;

刘瑞盛 ;

李辉辉 .

中国专利 :CN112563412A ,2021-03-26

[2]

一种双磁性隧道结的刻蚀方法 [P].

左正笏 ;

李辉辉 ;

徐庶 ;

蒋信 ;

韩谷昌 ;

刘瑞盛 ;

孟皓 ;

刘波 .

中国专利 :CN105374936A ,2016-03-02

[3]

一种制备磁性隧道结阵列的方法 [P].

张云森 .

中国专利 :CN108232002B ,2018-06-29

[4]

磁性隧道结的参考层的制备方法、磁性隧道结的制备方法 [P].

刘鲁萍 ;

简红 ;

蒋信 .

中国专利 :CN107958954A ,2018-04-24

[5]

磁性隧道结的制备方法 [P].

李辉辉 .

中国专利 :CN112531106A ,2021-03-19

[6]

磁性隧道结的制备方法 [P].

朴仁鎬 .

中国专利 :CN118338761A ,2024-07-12

[7]

一种刻蚀磁性隧道结及其底电极的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 ;

郭一民 ;

陈峻 .

中国专利 :CN107623069A ,2018-01-23

[8]

磁性隧道结单元和制备磁性隧道结单元的方法 [P].

张宏 .

中国专利 :CN105206741A ,2015-12-30

[9]

一种刻蚀磁性隧道结导电硬掩模的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 ;

郭一民 ;

陈峻 .

中国专利 :CN110098320A ,2019-08-06

[10]

一种制备磁性隧道结的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 .

中国专利 :CN108075037B ,2018-05-25

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