蒸发真空镀膜机用蒸发装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921187138.1
申请日
2019-07-26
公开(公告)号
CN210560698U
公开(公告)日
2020-05-19
发明(设计)人
傅志坚
申请人
申请人地址
266000 山东省青岛市即墨市北安办事处刘家后戈庄村
IPC主分类号
C23C1426
IPC分类号
代理机构
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法律状态
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共 50 条
[21]
一种真空镀膜机的蒸发舟 [P]. 
陈道理 .
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[22]
一种卷绕蒸发式真空镀膜机 [P]. 
林正亮 .
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[23]
旋转式蒸发源和真空镀膜机 [P]. 
姚博 ;
王良乐 ;
邵君 ;
于振瑞 .
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[24]
一种真空镀膜机的蒸发舟 [P]. 
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[25]
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[26]
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[27]
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[28]
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姚飞 ;
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李丙科 ;
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[29]
真空镀膜机 [P]. 
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[30]
真空镀膜机上的蒸发电极结构 [P]. 
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