保持装置、载体保持装置系统以及晶片干燥设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921676611.2

申请日：

2019-10-02

公开(公告)号：

CN211700199U

公开(公告)日：

2020-10-16

发明(设计)人：

尼尔斯·卡斯腾森

申请人：

申请人地址：

德国古滕巴赫市78148高路街1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21673 H01L21683 F26B500

代理机构：

北京金恒联合知识产权代理事务所 11324

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-16	授权	授权

共 50 条

[1]

晶片干燥装置及晶片干燥设备 [P].

申弘植 .

中国专利 :CN119222959A ,2024-12-31

[2]

晶片保持装置 [P].

A·施瓦贝迪森 ;

S·彼得斯 ;

K·东克尔 ;

M·容汉内尔 ;

E·贾泽姆博夫斯基 .

中国专利 :CN110387539B ,2019-10-29

[3]

晶片保持装置和沉积设备 [P].

松田拓也 ;

寺田贵洋 ;

新村忠 ;

松叶博 ;

小林浩秋 ;

守屋展行 .

中国专利 :CN105088168A ,2015-11-25

[4]

干燥保持装置 [P].

王鹏 ;

赵玉倩 ;

刘正涛 ;

时红卫 ;

吴权 .

中国专利 :CN111525370A ,2020-08-11

[5]

保持方法以及保持装置 [P].

山田忠知 ;

毛受利彰 .

中国专利 :CN114628284A ,2022-06-14

[6]

保持装置以及保持方法 [P].

金田侑 ;

池内宏树 .

日本专利 :CN118647489A ,2024-09-13

[7]

弹簧保持装置和弹簧保持系统 [P].

大卫·尼特劳伊 ;

斯坦尼斯拉夫·克勒曼 .

德国专利 :CN223708375U ,2025-12-23

[8]

保持装置以及车辆 [P].

约书亚·罗伯特·亨普希尔 ;

杰克·马尔赫列斯基 .

中国专利 :CN206327246U ,2017-07-14

[9]

晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法 [P].

关家一马 .

日本专利 :CN111063646B ,2025-01-14

[10]

晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法 [P].

关家一马 .

中国专利 :CN111063646A ,2020-04-24

← 1 2 3 4 5 →