真空处理设备和在真空处理设备中加热基板的方法

被引：0

申请号：

CN202080100268.6

申请日：

2020-07-01

公开(公告)号：

CN115516128A

公开(公告)日：

2022-12-23

发明(设计)人：

克里斯托弗·马尔姆斯丹尼尔·谢弗-科皮托托拜西·伯格曼

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1648

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20200701
2022-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

佐长谷肇 ;

渡边直树 ;

徐舸 .

中国专利 :CN102191480A ,2011-09-21

[2]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

J·拉姆 ;

B·威德里格 ;

S·卡塞曼 ;

M·D·皮门塔 ;

O·马斯勒 ;

B·汉塞尔曼 .

中国专利 :CN101743338A ,2010-06-16

[3]

真空处理设备及真空处理设备的控制方法 [P].

张波 ;

余龙 ;

耿生煌 .

中国专利 :CN119121164A ,2024-12-13

[4]

真空处理设备和真空处理衬底的方法 [P].

M·布莱斯 ;

T·纳蒂格 .

中国专利 :CN112789717A ,2021-05-11

[5]

真空处理设备 [P].

约亨·克劳瑟 .

中国专利 :CN204644463U ,2015-09-16

[6]

真空处理设备 [P].

芦成 .

中国专利 :CN309314458S ,2025-05-30

[7]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN103392226A ,2013-11-13

[8]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

中国专利 :CN110434886A ,2019-11-12

[9]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN109300806B ,2019-02-01

[10]

真空处理设备 [P].

沃尔特·斯卡夫 ;

拉尔夫·斯托克伯格 .

中国专利 :CN102186759B ,2011-09-14

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