纳米硅薄膜晶体管压力传感器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110093983.4
申请日
2011-04-14
公开(公告)号
CN102243126B
公开(公告)日
2011-11-16
发明(设计)人
赵晓锋 温殿忠 庄萃萃 李玥
申请人
申请人地址
150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
IPC主分类号
G01L906
IPC分类号
B82Y1500
代理机构
哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109
代理人
牟永林
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
纳米硅薄膜压力传感器 [P]. 
谢贵久 ;
白庆星 ;
安志超 ;
谢锋 ;
何迎辉 ;
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龚星 .
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[2]
基于薄膜晶体管的压力传感器及其制备方法 [P]. 
卢年端 ;
李泠 ;
史学文 ;
姜文峰 ;
陆丛研 ;
耿玓 ;
刘明 .
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[3]
薄膜晶体管、其制作方法、压力传感器及压力传感装置 [P]. 
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[4]
薄膜晶体管传感器、其制造方法及薄膜晶体管传感器阵列 [P]. 
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[5]
薄膜晶体管多功能传感器 [P]. 
王晓东 ;
马力千 .
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[6]
薄膜晶体管生物/化学传感器 [P]. 
杜纳尔德·E·阿克利 ;
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[7]
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木村茂 ;
关根裕之 ;
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岩佐昂一 .
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[8]
薄膜晶体管及传感器 [P]. 
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[9]
抗辐射压力传感器 [P]. 
王善慈 ;
王文襄 ;
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周永军 ;
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[10]
薄膜晶体管传感器及其制备方法 [P]. 
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