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基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980059035.3
申请日：
2019-08-26
公开(公告)号：
CN112673463A
公开(公告)日：
2021-04-16
发明(设计)人：
吉田哲也
汤运欣
申请人：
申请人地址：
日本兵库县
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
周宏志;张青
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190826 |