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基板搬运机器人系统以及基板搬运机器人的示教方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311531538.0
申请日：
2023-11-16
公开(公告)号：
CN118116851A
公开(公告)日：
2024-05-31
发明(设计)人：
实政泰树
长渕皓二
南孝
申请人：
株式会社安川电机
申请人地址：
日本福冈县
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
章琴;徐丹
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-31 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231116 |