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基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280045845.5
申请日：
2022-08-17
公开(公告)号：
CN117581349A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
桥崎知
北野真也
申请人：
川崎重工业株式会社
申请人地址：
日本兵库县
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
胡乃锐
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20220817 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |