基板搬运机器人和自动示教方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980085025.7

申请日：

2019-12-23

公开(公告)号：

CN113228246A

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

吉田雅也中原一汤运欣

申请人：

申请人地址：

日本兵库县神

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

张青;刘晓岑

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	公开	公开
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20191223

共 50 条

[1]

搬运机器人的示教系统以及搬运机器人的示教方法 [P].

须藤吉宽 ;

井浦惇 .

日本专利 :CN119734238A ,2025-04-01

[2]

基板搬运机器人系统以及基板搬运机器人的示教方法 [P].

实政泰树 ;

长渕皓二 ;

南孝 .

日本专利 :CN118116851A ,2024-05-31

[3]

基板搬运机器人和基板搬运方法 [P].

末吉智 ;

垂野真 .

中国专利 :CN103824791A ,2014-05-28

[4]

搬运机器人的示教方法 [P].

藤井佳词 .

中国专利 :CN102112274B ,2011-06-29

[5]

基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法 [P].

吉田哲也 ;

汤运欣 .

中国专利 :CN112673463A ,2021-04-16

[6]

搬运机器人和搬运方法 [P].

张敕 ;

赵炎 ;

王辉 ;

王永 ;

白寒 .

中国专利 :CN117776042A ,2024-03-29

[7]

机器人示教装置及机器人示教方法 [P].

藤井佳词 .

中国专利 :CN102448682A ,2012-05-09

[8]

一种机器人示教器及示教方法 [P].

胡军华 ;

孙毅 ;

刘正勇 .

中国专利 :CN104772754B ,2015-07-15

[9]

一种机器人自动示教方法和自动示教系统 [P].

步松毅 ;

陈晨 ;

杨薛鹏 ;

鞠赵鑫 ;

丁昊 .

中国专利 :CN109366468A ,2019-02-22

[10]

搬运机器人和搬运方法 [P].

毛连春 ;

王宏军 ;

付林霄 .

中国专利 :CN120736253A ,2025-10-03

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