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一种直流磁控溅射电源出线机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020242664.X
申请日：
2020-03-03
公开(公告)号：
CN210826337U
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
王志鹏
范玮力
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市武侯区一环路南一段22号1幢1号5层505室
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
H02G304
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 授权 | 授权 |