节能型直流磁控溅射电源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311661974.X

申请日：

2023-12-06

公开(公告)号：

CN117794118A

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

缪伟清孙云锦徐鑫伟蒋海锋周方航

申请人：

江阴市天马电源制造有限公司

申请人地址：

214406 江苏省无锡市江阴市徐霞客镇璜塘内海路6号

IPC主分类号：

H05K5/02

IPC分类号：

H05K7/20 B01D46/10 B01D46/66

代理机构：

江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443

代理人：

陈强

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	公开	公开
2024-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05K 5/02申请日:20231206

共 50 条

[1]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[2]

直流磁控溅射电源 [P].

张功智 ;

李娟 .

中国专利 :CN216313641U ,2022-04-15

[3]

一种高效节能型直流磁控溅射电源箱体 [P].

缪伟清 ;

徐鑫伟 ;

俞名高 ;

薛小龙 ;

施庆晟 ;

朱群超 .

中国专利 :CN222339847U ,2025-01-10

[4]

一种直流磁控溅射电源 [P].

吴晓军 .

中国专利 :CN214736058U ,2021-11-16

[5]

一种直流磁控溅射电源 [P].

冯建军 .

中国专利 :CN204517669U ,2015-07-29

[6]

双冷型磁控溅射电源 [P].

任锋 ;

陈星庆 ;

任浩鑫 ;

司国斌 ;

陈嵩 .

中国专利 :CN221447827U ,2024-07-30

[7]

一种直流磁控溅射电源出线机构 [P].

王志鹏 ;

范玮力 .

中国专利 :CN210826337U ,2020-06-23

[8]

散热型磁控溅射电源箱 [P].

缪伟清 ;

黄真真 ;

顾国龙 ;

王健 ;

沈洁 .

中国专利 :CN221240672U ,2024-06-28

[9]

一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 [P].

王志鹏 ;

范玮力 .

中国专利 :CN210840395U ,2020-06-23

[10]

一种具有理线结构的直流磁控溅射电源 [P].

王志鹏 ;

廖志清 ;

欧任勇 .

中国专利 :CN223714370U ,2025-12-23

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