直流磁控溅射电源

被引：0

申请号：

CN202123055594.0

申请日：

2021-12-07

公开(公告)号：

CN216313641U

公开(公告)日：

2022-04-15

发明(设计)人：

张功智李娟

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区松岗街道楼岗社区楼岗大道11号2栋301

IPC主分类号：

H05K502

IPC分类号：

H02M100 C23C1435

代理机构：

深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585

代理人：

王巍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[2]

一种直流磁控溅射电源 [P].

吴晓军 .

中国专利 :CN214736058U ,2021-11-16

[3]

一种直流磁控溅射电源 [P].

冯建军 .

中国专利 :CN204517669U ,2015-07-29

[4]

节能型直流磁控溅射电源 [P].

缪伟清 ;

孙云锦 ;

徐鑫伟 ;

蒋海锋 ;

周方航 .

中国专利 :CN117794118A ,2024-03-29

[5]

一种直流磁控溅射电源出线机构 [P].

王志鹏 ;

范玮力 .

中国专利 :CN210826337U ,2020-06-23

[6]

一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 [P].

王志鹏 ;

范玮力 .

中国专利 :CN210840395U ,2020-06-23

[7]

一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 [P].

窦久存 ;

窦立洋 .

中国专利 :CN210630059U ,2020-05-26

[8]

一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 [P].

吴晓军 .

中国专利 :CN208739019U ,2019-04-12

[9]

散热型磁控溅射电源箱 [P].

缪伟清 ;

黄真真 ;

顾国龙 ;

王健 ;

沈洁 .

中国专利 :CN221240672U ,2024-06-28

[10]

一种具有理线结构的直流磁控溅射电源 [P].

王志鹏 ;

廖志清 ;

欧任勇 .

中国专利 :CN223714370U ,2025-12-23

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