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直写式曝光设备及其控制方法
被引：0
申请号：
CN202211335650.2
申请日：
2022-10-28
公开(公告)号：
CN115509096A
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
刘国藩
申请人：
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京景闻知识产权代理有限公司 11742
代理人：
常鹏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20221028 |
| 2022-12-23 | 公开 | 公开 |