直写式曝光设备及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211335604.2

申请日：

2022-10-28

公开(公告)号：

CN115509095B

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

刘国藩

申请人：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

贾玉姣

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

直写式曝光设备及其控制方法 [P].

刘国藩 .

中国专利 :CN115509095A ,2022-12-23

[2]

直写式曝光设备及其控制方法 [P].

刘国藩 .

中国专利 :CN115509096A ,2022-12-23

[3]

温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备 [P].

韦巍 .

中国专利 :CN115657762A ,2023-01-31

[4]

温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备 [P].

韦巍 .

中国专利 :CN115657762B ,2025-06-03

[5]

直写光刻设备和曝光控制方法 [P].

张敏 ;

戴晓霖 ;

武邵东 .

中国专利 :CN118884780A ,2024-11-01

[6]

直写光刻设备和曝光控制方法 [P].

张敏 ;

戴晓霖 ;

武邵东 .

中国专利 :CN118884780B ,2025-09-16

[7]

对准系统及其控制方法、激光直写曝光设备 [P].

李永强 ;

何少锋 ;

杨宇航 .

中国专利 :CN112835276A ,2021-05-25

[8]

激光直写曝光设备 [P].

肖燕青 ;

郑旭维 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN306570828S ,2021-05-28

[9]

激光直写曝光设备 [P].

徐彦文 ;

陈海巍 ;

王方江 .

中国专利 :CN307706724S ,2022-12-02

[10]

一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统 [P].

李振杰 ;

陈海巍 ;

吴长江 .

中国专利 :CN119717413B ,2025-09-30

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