化学机械抛光机用助力机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320739613.8

申请日：

2013-11-20

公开(公告)号：

CN203600232U

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

郝玉清程凤伶蔡丽艳李耀东陈信任凯峰张建李奇白鸽玲

申请人：

申请人地址：

100088 北京市西城区新街口外大街2号

IPC主分类号：

B25J112

IPC分类号：

B25J1506

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

刘秀青;熊国裕

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

化学机械抛光机 [P].

许振杰 ;

王剑 ;

陈祥玉 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN105598827A ,2016-05-25

[2]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201833275U ,2011-05-18

[3]

化学机械抛光机台 [P].

林士杰 ;

谈文毅 .

中国专利 :CN210255734U ,2020-04-07

[4]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101934496B ,2011-01-05

[5]

化学机械抛光机台 [P].

张家伦 .

中国专利 :CN221455541U ,2024-08-02

[6]

化学机械抛光设备与化学机械抛光工艺 [P].

胡俊汀 ;

谢祖怡 ;

曾子育 ;

郭永杰 ;

白弘吉 .

中国专利 :CN1986157A ,2007-06-27

[7]

用于化学机械抛光机的防溅装置和化学机械抛光机 [P].

路新春 ;

许振杰 .

中国专利 :CN102335866A ,2012-02-01

[8]

一种新型化学机械抛光机 [P].

吴拥中 ;

龚圣智 ;

赵宇 ;

刘忠旭 .

中国专利 :CN218017752U ,2022-12-13

[9]

化学机械抛光机的抛光头支架 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201833261U ,2011-05-18

[10]

化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

何永勇 ;

沈攀 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

裴召辉 ;

徐海滨 ;

张莉瑶 ;

郭振宇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN103252705A ,2013-08-21

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B25J 1/12 变更事项:专利权人变更前:有研半导体材料有限公司变更后:有研半导体硅材料股份公司变更事项:地址变更前:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧变更后:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
2015-07-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717141095 IPC(主分类):B25J 1/12 专利号:ZL2013207396138 变更事项:专利权人变更前权利人:有研新材料股份有限公司变更后权利人:有研半导体材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:100088 北京市西城区新街口外大街2号变更后权利人:101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧登记生效日:20150611
2014-06-25	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101702242462 IPC(主分类):B25J 1/12 专利号:ZL2013207396138 变更事项:专利权人变更前:有研半导体材料股份有限公司变更后:有研新材料股份有限公司变更事项:地址变更前:100088 北京市西城区新街口外大街2号变更后:100088 北京市西城区新街口外大街2号
2014-05-21	授权	授权