一种晶圆研磨头及化学机械研磨机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820649716.8

申请日：

2018-05-03

公开(公告)号：

CN208231541U

公开(公告)日：

2018-12-14

发明(设计)人：

冯所利

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室

IPC主分类号：

B24B3711

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨头以及晶圆研磨机 [P].

陆从喜 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208854405U ,2019-05-14

[2]

化学机械研磨元件、晶圆的研磨方法及晶圆研磨系统 [P].

林俞良 ;

黄见翎 ;

汪青蓉 ;

余振华 .

中国专利 :CN101879700A ,2010-11-10

[3]

晶圆用的化学机械研磨机台 [P].

汪戬 .

中国专利 :CN213999055U ,2021-08-20

[4]

研磨头及化学机械研磨机台 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102294646A ,2011-12-28

[5]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

沈新林 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663469U ,2019-03-29

[6]

研磨头及化学机械研磨设备 [P].

王庆玲 ;

邵群 .

中国专利 :CN202200170U ,2012-04-25

[7]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

岳志刚 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

辛君 .

中国专利 :CN207326710U ,2018-05-08

[8]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204504984U ,2015-07-29

[9]

晶圆研磨装置高速研磨头 [P].

陈琳 .

中国专利 :CN209681910U ,2019-11-26

[10]

研磨头结构及化学机械研磨装置 [P].

冯庆安 ;

张连伯 ;

马冬 ;

邱云光 .

中国专利 :CN206200737U ,2017-05-31

← 1 2 3 4 5 →