晶圆分片治具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121066785.4

申请日：

2021-05-18

公开(公告)号：

CN215644420U

公开(公告)日：

2022-01-25

发明(设计)人：

韦世敏谢刚刚陈永洪郑朝生辜诗涛

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市万江街道莫屋新丰东二路2号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

张艳美;毛伟碧

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆治具 [P].

孙丰 ;

田斌 .

中国专利 :CN220439593U ,2024-02-02

[2]

晶圆涂胶治具 [P].

丁万春 .

中国专利 :CN204315527U ,2015-05-06

[3]

固定晶圆治具 [P].

杨江 ;

张洪波 ;

罗钞文 ;

诸晨杰 ;

孙庆永 ;

庄峰 ;

王丽君 ;

李延庆 .

中国专利 :CN209148525U ,2019-07-23

[4]

晶圆喷涂治具 [P].

马秀清 ;

王森民 .

中国专利 :CN217491338U ,2022-09-27

[5]

晶圆固定治具 [P].

卢群 ;

方园 .

中国专利 :CN216597551U ,2022-05-24

[6]

晶圆盒检验治具 [P].

夏恩波 ;

潘克成 ;

赵厚票 ;

胡民力 .

中国专利 :CN223295638U ,2025-09-02

[7]

晶圆检查辅助治具 [P].

孙荣兵 ;

张峰 ;

李杨 ;

孙剑 ;

高裕弟 .

中国专利 :CN217822734U ,2022-11-15

[8]

晶圆的旋转治具 [P].

孙丰 ;

田斌 .

中国专利 :CN220446312U ,2024-02-06

[9]

晶圆预加热治具 [P].

何鑫磊 .

中国专利 :CN220709303U ,2024-04-02

[10]

晶圆传输检测治具 [P].

杨正军 ;

王学森 .

中国专利 :CN223037128U ,2025-06-27

← 1 2 3 4 5 →