晶圆固定治具

被引：0

申请号：

CN202123384141.2

申请日：

2021-12-29

公开(公告)号：

CN216597551U

公开(公告)日：

2022-05-24

发明(设计)人：

卢群方园

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11F

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2102 B08B1102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

固定晶圆治具 [P].

杨江 ;

张洪波 ;

罗钞文 ;

诸晨杰 ;

孙庆永 ;

庄峰 ;

王丽君 ;

李延庆 .

中国专利 :CN209148525U ,2019-07-23

[2]

晶圆治具 [P].

孙丰 ;

田斌 .

中国专利 :CN220439593U ,2024-02-02

[3]

晶圆涂胶治具 [P].

丁万春 .

中国专利 :CN204315527U ,2015-05-06

[4]

晶圆喷涂治具 [P].

马秀清 ;

王森民 .

中国专利 :CN217491338U ,2022-09-27

[5]

晶圆分片治具 [P].

韦世敏 ;

谢刚刚 ;

陈永洪 ;

郑朝生 ;

辜诗涛 .

中国专利 :CN215644420U ,2022-01-25

[6]

晶圆盒检验治具 [P].

夏恩波 ;

潘克成 ;

赵厚票 ;

胡民力 .

中国专利 :CN223295638U ,2025-09-02

[7]

晶圆检查辅助治具 [P].

孙荣兵 ;

张峰 ;

李杨 ;

孙剑 ;

高裕弟 .

中国专利 :CN217822734U ,2022-11-15

[8]

晶圆的旋转治具 [P].

孙丰 ;

田斌 .

中国专利 :CN220446312U ,2024-02-06

[9]

晶圆预加热治具 [P].

何鑫磊 .

中国专利 :CN220709303U ,2024-04-02

[10]

晶圆传输检测治具 [P].

杨正军 ;

王学森 .

中国专利 :CN223037128U ,2025-06-27

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