电子束记录器、照射位置检测方法及照射位置控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510054146.5

申请日：

2005-03-09

公开(公告)号：

CN1677528A

公开(公告)日：

2005-10-05

发明(设计)人：

佃雅彦阿部伸也

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G11B910

IPC分类号：

G11B726 H01J3704

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王玮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-10-05	公开	公开
2010-07-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003236658 IPC(主分类):G11B 9/10 专利申请号:2005100541465 公开日:20051005
2006-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

电子束记录器和电子束照射位置检测方法 [P].

佃雅彦 ;

阿部伸也 .

中国专利 :CN1542798A ,2004-11-03

[2]

电子束照射装置、电子束照射方法、原版盘、压模和记录媒体 [P].

安芸佑一 ;

近藤高男 ;

武田实 ;

山本真伸 ;

增原慎 ;

柏木俊行 .

中国专利 :CN1321973A ,2001-11-14

[3]

电子束照射设备和方法 [P].

内藤仪彦 .

中国专利 :CN1358108A ,2002-07-10

[4]

电子束监视装置及电子束照射系统 [P].

松井信二郎 .

日本专利 :CN118160050A ,2024-06-07

[5]

电子束位置变动测定方法、电子束位置变动测定装置以及电子束记录装置 [P].

小岛良明 .

中国专利 :CN1942829A ,2007-04-04

[6]

用于电子束照射的方法和装置 [P].

L·奈斯伦德 ;

T·尼尔松 ;

L·波皮 ;

A·埃里克松 ;

P·贝内德蒂 ;

F·费拉里尼 .

中国专利 :CN1809495A ,2006-07-26

[7]

电子束照射方法、电子束照射装置及记录有程序的计算机可读的非易失性存储介质 [P].

中山田宪昭 .

中国专利 :CN110517954A ,2019-11-29

[8]

电子束记录装置及电子束记录方法 [P].

佃雅彦 ;

林一英 ;

植野文章 .

中国专利 :CN1186768C ,2003-01-29

[9]

电子束曝光方法及电子束曝光装置 [P].

伊藤英一 ;

佃雅彦 .

中国专利 :CN1708729A ,2005-12-14

[10]

电子束检测设备及其辅助照射装置 [P].

张建 .

中国专利 :CN223650469U ,2025-12-09

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