电子束记录器和电子束照射位置检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410005495.3

申请日：

2004-02-19

公开(公告)号：

CN1542798A

公开(公告)日：

2004-11-03

发明(设计)人：

佃雅彦阿部伸也

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G11B910

IPC分类号：

H01J3702

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

刘晓峰

法律状态：

专利权的视为放弃

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101003978696 IPC(主分类):G11B 9/10 专利申请号:2004100054953 放弃生效日:20041103
2005-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-11-03	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束记录器、照射位置检测方法及照射位置控制方法 [P].

佃雅彦 ;

阿部伸也 .

中国专利 :CN1677528A ,2005-10-05

[2]

电子束照射装置、电子束照射方法、原版盘、压模和记录媒体 [P].

安芸佑一 ;

近藤高男 ;

武田实 ;

山本真伸 ;

增原慎 ;

柏木俊行 .

中国专利 :CN1321973A ,2001-11-14

[3]

电子束记录装置及电子束记录方法 [P].

佃雅彦 ;

林一英 ;

植野文章 .

中国专利 :CN1186768C ,2003-01-29

[4]

电子束描绘装置和电子束描绘方法 [P].

早田康成 ;

上村理 ;

中山义则 ;

谷本明佳 ;

村木真人 .

中国专利 :CN1606129A ,2005-04-13

[5]

电子束照射装置 [P].

中村淳 ;

吉冈毅 ;

木我昌宏 .

中国专利 :CN1282078A ,2001-01-31

[6]

电子束照射装置 [P].

水谷睦 .

中国专利 :CN201522861U ,2010-07-07

[7]

电子束照射装置 [P].

八代嘉文 .

中国专利 :CN201438382U ,2010-04-14

[8]

电子束照射窗 [P].

梅村纯平 .

中国专利 :CN201522860U ,2010-07-07

[9]

电子束曝光方法及电子束曝光装置 [P].

伊藤英一 ;

佃雅彦 .

中国专利 :CN1708729A ,2005-12-14

[10]

电子束照射窗 [P].

八代嘉文 .

中国专利 :CN201440340U ,2010-04-21

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