一种气体管道密封结构及干法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720970363.7

申请日：

2017-08-04

公开(公告)号：

CN207161923U

公开(公告)日：

2018-03-30

发明(设计)人：

江森林李定斌张旭升朱骏刘东升彭国发

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

F16L1906

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

干法刻蚀设备 [P].

杨伟杰 ;

孟凡顺 ;

刘志攀 .

中国专利 :CN217444341U ,2022-09-16

[2]

干法刻蚀设备 [P].

张正洋 ;

邓泽新 ;

黄伟东 ;

李建华 .

中国专利 :CN204834563U ,2015-12-02

[3]

干法刻蚀设备 [P].

张涛 ;

李建财 ;

赖正锦 ;

刘伟 .

中国专利 :CN223066114U ,2025-07-04

[4]

干法刻蚀设备 [P].

赵超超 ;

徐跃鸿 ;

石建东 .

中国专利 :CN203553097U ,2014-04-16

[5]

一种干法刻蚀设备 [P].

蒋会刚 ;

刘华锋 ;

刘佳 ;

任志强 ;

谢海征 .

中国专利 :CN202796846U ,2013-03-13

[6]

一种干法刻蚀设备 [P].

薛荣华 ;

朱进 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN210325711U ,2020-04-14

[7]

一种清洁机构及干法刻蚀设备 [P].

白昊升 .

中国专利 :CN215869282U ,2022-02-18

[8]

一种干法刻蚀设备的粗抽管道结构 [P].

阚杰 ;

沈吉 ;

刘东升 ;

朱骏 ;

张旭升 ;

张晓腾 .

中国专利 :CN207134330U ,2018-03-23

[9]

一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备 [P].

王金宝 ;

冷问竹 ;

陈飞 ;

李岩 .

中国专利 :CN111243933A ,2020-06-05

[10]

一种干法刻蚀方法 [P].

汪之涵 ;

和巍巍 ;

温正欣 .

中国专利 :CN118507343A ,2024-08-16

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