厚铝生长工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110143756.8

申请日：

2011-05-31

公开(公告)号：

CN102810504A

公开(公告)日：

2012-12-05

发明(设计)人：

闵炼锋

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701753371 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011101437568 变更事项:申请人变更前权利人:无锡华润上华半导体有限公司变更后权利人:无锡华润上华科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号变更后权利人:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号变更事项:申请人变更前权利人:无锡华润上华科技有限公司变更后权利人:无登记生效日:20140519
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583269211 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011101437568 申请日:20110531
2017-06-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752696422 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011101437568 申请公布日:20121205
2012-12-05	公开	公开

共 50 条

[1]

外延生长工艺方法 [P].

李伟峰 .

中国专利 :CN104766789A ,2015-07-08

[2]

外延生长工艺 [P].

李睿 ;

曹志伟 ;

张召 ;

余文达 ;

尹佳玲 ;

刘悦 ;

范永胜 ;

蔡靖凯 ;

吴成志 .

中国专利 :CN121148987A ,2025-12-16

[3]

PLC晶圆上包层厚膜生长工艺 [P].

高志豪 ;

胡炎彰 ;

耿金帅 ;

孙健 ;

杨建周 ;

苏晓华 .

中国专利 :CN116013764B ,2025-04-04

[4]

金属的生长工艺 [P].

许爱春 ;

李远 ;

彭浩 ;

左明光 ;

詹侃 ;

唐浩 ;

万先进 ;

郁赛华 .

中国专利 :CN107978520A ,2018-05-01

[5]

单晶铜生长工艺 [P].

沈承刚 ;

沈琨 ;

沈振宇 ;

毕少东 .

中国专利 :CN113802176A ,2021-12-17

[6]

碳膜生长工艺 [P].

兹维·彦尼夫 ;

理查德·L·芬克 ;

芝丹·L·托尔特 .

中国专利 :CN1260847A ,2000-07-19

[7]

石墨烯生长工艺 [P].

罗西塔·雅基莫娃 ;

蒂霍米尔·雅基莫夫 ;

米克尔·叙韦耶尔维 .

中国专利 :CN103097283B ,2013-05-08

[8]

成型蓝宝石生长工艺 [P].

芮度保 .

中国专利 :CN1313413A ,2001-09-19

[9]

厚大成型蓝宝石的生长工艺 [P].

俞鹤庆 .

中国专利 :CN1061812A ,1992-06-10

[10]

用于炉管热氧化生长工艺的膜厚监控装置及方法 [P].

徐涛 ;

陈宏 ;

王卉 ;

曹子贵 ;

陈广伦 .

中国专利 :CN105931975A ,2016-09-07

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