电极组件和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610093138.6

申请日：

2006-06-22

公开(公告)号：

CN100525577C

公开(公告)日：

2007-03-14

发明(设计)人：

高桥千香子铃木隆司堀口将人

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H05H124

IPC分类号：

H05H146 H01L2100

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-05	授权	授权
2007-03-14	公开	公开
2007-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-08-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101740758771 IPC(主分类):H05H 1/24 专利号:ZL2006100931386 申请日:20060622 授权公告日:20090805 终止日期:20160622

共 50 条

[1]

电极板、电极组件和等离子体处理装置 [P].

有吉文彬 ;

花冈秀敏 .

日本专利 :CN119790716A ,2025-04-08

[2]

等离子体处理装置和下电极组件 [P].

倪图强 ;

郭盛 ;

孙祥 ;

范光伟 ;

杨宽 ;

王洪青 ;

陈星建 ;

杜若昕 .

中国专利 :CN214477329U ,2021-10-22

[3]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN214672493U ,2021-11-09

[4]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN114914142A ,2022-08-16

[5]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

裴江涛 ;

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN213150716U ,2021-05-07

[6]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN114914142B ,2025-02-14

[7]

上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田中善嗣 ;

南雅人 .

中国专利 :CN100431097C ,2006-12-27

[8]

等离子体处理系统和等离子体处理装置 [P].

瀬野晃汰 ;

有吉文彬 .

日本专利 :CN118140297A ,2024-06-04

[9]

上部电极构造和等离子体处理装置 [P].

佐藤徹治 .

日本专利 :CN118043945A ,2024-05-14

[10]

等离子体处理装置用电极及等离子体处理装置 [P].

松岛圭一 ;

铃木隆司 ;

古家元 .

中国专利 :CN1643666A ,2005-07-20

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