硅衬底片抛光方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710168988.6

申请日：

2017-03-21

公开(公告)号：

CN107030583A

公开(公告)日：

2017-08-11

发明(设计)人：

赵慧佳姜博成金军路新春沈攀

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-11	公开	公开
2020-05-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 29/02 申请公布日:20170811
2017-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101745811552 IPC(主分类):B24B 29/02 专利申请号:2017101689886 申请日:20170321
2018-01-26	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 29/02 登记生效日:20180109 变更事项:申请人变更前权利人:天津华海清科机电科技有限公司变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更后权利人:100084 北京市海淀区清华园变更事项:申请人变更前权利人:清华大学变更后权利人:天津华海清科机电科技有限公司

共 50 条

[1]

衬底片加工方法 [P].

王波 ;

袁健飞 ;

凌龙 ;

王从学 .

中国专利 :CN119008377A ,2024-11-22

[2]

衬底抛光装置和抛光方法 [P].

中尾秀高 ;

川端康充 ;

胜间田好文 ;

小泽直树 ;

佐佐木达也 ;

重田厚 .

中国专利 :CN100481340C ,2005-09-21

[3]

一种蓝宝石衬底片抛光方法 [P].

徐永亮 ;

王辽阔 ;

施海斌 ;

柳瑞森 ;

吴鲁 ;

周波 .

中国专利 :CN109807695A ,2019-05-28

[4]

抛光衬底的方法和装置 [P].

福岛诚 ;

户川哲二 ;

齐藤真吾 ;

井上智视 .

中国专利 :CN111644976B ,2020-09-11

[5]

抛光衬底的方法和装置 [P].

福岛诚 ;

户川哲二 ;

齐藤真吾 ;

井上智视 .

中国专利 :CN105313002A ,2016-02-10

[6]

抛光衬底的方法和装置 [P].

福岛诚 ;

户川哲二 ;

齐藤真吾 ;

井上智视 .

中国专利 :CN102186627B ,2011-09-14

[7]

双面抛光机用衬底片夹具及其抛光方法 [P].

苗泽民 .

中国专利 :CN110695844A ,2020-01-17

[8]

抛光衬底的方法和装置 [P].

福岛诚 ;

户川哲二 ;

齐藤真吾 ;

井上智视 .

中国专利 :CN108515447A ,2018-09-11

[9]

抛光装置和衬底处理装置 [P].

本乡明久 ;

伊藤贤也 ;

山口健二 ;

中西正行 .

中国专利 :CN1914711A ,2007-02-14

[10]

图形硅衬底-硅锗薄膜复合结构及其制备方法和应用 [P].

张建军 ;

张结印 .

中国专利 :CN112382657B ,2021-02-19

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