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晶圆用静电吸盘的清洁方法
被引：0
申请号：
CN202211033435.7
申请日：
2022-08-26
公开(公告)号：
CN115332038A
公开(公告)日：
2022-11-11
发明(设计)人：
刘纵曙
申请人：
申请人地址：
201208 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路600号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人：
黄贞君;秦亚群
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20220826 |