一种晶圆静电吸盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422485610.7

申请日：

2024-10-15

公开(公告)号：

CN223390532U

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

尹国君杨占山

申请人：

无锡国悦电子科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-606

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

无锡万里知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32263

代理人：

岳培华

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种固定晶圆用静电吸盘 [P].

廖海涛 ;

吕军 .

中国专利 :CN211629057U ,2020-10-02

[2]

静电吸盘及晶圆刻蚀系统 [P].

王建冲 ;

杨鹏远 ;

王超星 .

中国专利 :CN221057357U ,2024-05-31

[3]

一种用于晶圆注入机构的升温静电吸盘 [P].

刘金涛 ;

康劲 ;

王振辉 ;

雷晓刚 ;

卢合强 ;

王辉 ;

夏世伟 ;

高国珺 ;

沈斌 ;

贾礼宾 ;

张劲 ;

郑皓文 ;

侯爽 ;

张彦彬 ;

李恒 .

中国专利 :CN216528827U ,2022-05-13

[4]

一种用于多规格晶圆吸附的静电吸盘 [P].

王建冲 ;

杨鹏远 ;

王超星 ;

张玉利 .

中国专利 :CN217387121U ,2022-09-06

[5]

一种晶圆的静电吸盘结构 [P].

张桂华 ;

刘畅 ;

胡炳煌 ;

刘锦豪 .

中国专利 :CN120089639B ,2025-08-08

[6]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN111613563B ,2024-02-27

[7]

一种晶圆的静电吸盘结构 [P].

张桂华 ;

刘畅 ;

胡炳煌 ;

刘锦豪 .

中国专利 :CN120089639A ,2025-06-03

[8]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 .

中国专利 :CN113496934A ,2021-10-12

[9]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN111613563A ,2020-09-01

[10]

便于吸附晶圆的静电吸盘 [P].

张桂华 ;

刘畅 .

中国专利 :CN119764243B ,2025-08-08

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