一种晶圆的静电吸盘结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510562546.4

申请日：

2025-04-30

公开(公告)号：

CN120089639A

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

张桂华刘畅胡炳煌刘锦豪

申请人：

深圳市云在上半导体材料有限公司湖南湘芯新材料有限公司

申请人地址：

518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

B08B5/02 B08B3/02 B08B3/08

代理机构：

北京智专天权知识产权代理有限公司 16248

代理人：

苏利

法律状态：

授权

国省代码：

河南省郑州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-08	授权	授权
2025-06-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250430
2025-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆的静电吸盘结构 [P].

张桂华 ;

刘畅 ;

胡炳煌 ;

刘锦豪 .

中国专利 :CN120089639B ,2025-08-08

[2]

一种晶圆静电吸盘 [P].

尹国君 ;

杨占山 .

中国专利 :CN223390532U ,2025-09-26

[3]

便于吸附晶圆的静电吸盘 [P].

张桂华 ;

刘畅 .

中国专利 :CN119764243B ,2025-08-08

[4]

便于吸附晶圆的静电吸盘 [P].

张桂华 ;

刘畅 .

中国专利 :CN119764243A ,2025-04-04

[5]

晶圆静电吸盘的检测方法 [P].

李岩 ;

林丰文 .

中国专利 :CN115980878B ,2025-09-12

[6]

一种固定晶圆用静电吸盘 [P].

廖海涛 ;

吕军 .

中国专利 :CN211629057U ,2020-10-02

[7]

一种半导体静电吸盘结构 [P].

金辉哲 ;

肖明 .

中国专利 :CN223273255U ,2025-08-26

[8]

晶圆用静电吸盘的清洁方法 [P].

刘纵曙 .

中国专利 :CN115332038B ,2025-04-25

[9]

晶圆用静电吸盘的清洁方法 [P].

刘纵曙 .

中国专利 :CN115332038A ,2022-11-11

[10]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN111613563B ,2024-02-27

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