一种用于晶圆注入机构的升温静电吸盘

被引：0

申请号：

CN202123301856.7

申请日：

2021-12-24

公开(公告)号：

CN216528827U

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

刘金涛康劲王振辉雷晓刚卢合强王辉夏世伟高国珺沈斌贾礼宾张劲郑皓文侯爽张彦彬李恒

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区地盛西路1号数码庄园A2座

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆静电吸盘 [P].

尹国君 ;

杨占山 .

中国专利 :CN223390532U ,2025-09-26

[2]

一种超低温静电吸盘 [P].

刘金涛 ;

康劲 ;

王振辉 ;

雷晓刚 ;

卢合强 ;

王辉 ;

夏世伟 ;

高国珺 ;

沈斌 ;

贾礼宾 ;

张劲 ;

关天祺 ;

肖嘉星 .

中国专利 :CN216528829U ,2022-05-13

[3]

一种用于多规格晶圆吸附的静电吸盘 [P].

王建冲 ;

杨鹏远 ;

王超星 ;

张玉利 .

中国专利 :CN217387121U ,2022-09-06

[4]

一种固定晶圆用静电吸盘 [P].

廖海涛 ;

吕军 .

中国专利 :CN211629057U ,2020-10-02

[5]

一种晶圆注入真空升温模块 [P].

康劲 ;

刘金涛 ;

关天祺 ;

王振辉 ;

夏世伟 ;

沈斌 ;

卢合强 ;

高国珺 ;

贾礼宾 ;

张劲 ;

肖嘉星 ;

王亚 ;

张晓伟 ;

查泽奇 .

中国专利 :CN216528783U ,2022-05-13

[6]

一种超低温静电吸盘 [P].

刘金涛 ;

康劲 ;

王振辉 ;

雷晓刚 ;

卢合强 ;

王辉 ;

夏世伟 ;

高国珺 ;

沈斌 ;

贾礼宾 ;

张劲 ;

关天祺 ;

肖嘉星 .

中国专利 :CN114141686A ,2022-03-04

[7]

晶圆用静电吸盘的清洁方法 [P].

刘纵曙 .

中国专利 :CN115332038B ,2025-04-25

[8]

晶圆用静电吸盘的清洁方法 [P].

刘纵曙 .

中国专利 :CN115332038A ,2022-11-11

[9]

静电吸盘及晶圆刻蚀系统 [P].

王建冲 ;

杨鹏远 ;

王超星 .

中国专利 :CN221057357U ,2024-05-31

[10]

便于吸附晶圆的静电吸盘 [P].

张桂华 ;

刘畅 .

中国专利 :CN119764243B ,2025-08-08

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