一种静电吸盘及晶圆测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010194361.X

申请日：

2020-03-19

公开(公告)号：

CN113496934A

公开(公告)日：

2021-10-12

发明(设计)人：

邱海斌严大生蔡育源

申请人：

申请人地址：

266555 山东省青岛市黄岛区中德生态园团结路2877号ICIC办公楼4楼

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479

代理人：

高园园

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200319
2021-10-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN111613563B ,2024-02-27

[2]

一种静电吸盘及晶圆测试方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN111613563A ,2020-09-01

[3]

一种晶圆静电吸盘 [P].

尹国君 ;

杨占山 .

中国专利 :CN223390532U ,2025-09-26

[4]

静电吸盘及晶圆刻蚀系统 [P].

王建冲 ;

杨鹏远 ;

王超星 .

中国专利 :CN221057357U ,2024-05-31

[5]

晶圆静电吸盘的检测方法 [P].

李岩 ;

林丰文 .

中国专利 :CN115980878B ,2025-09-12

[6]

一种脉冲式静电吸盘及晶圆镀膜方法 [P].

尹联民 ;

袁祖浩 ;

李勇 ;

黄群 ;

杨金 ;

佘鹏程 .

中国专利 :CN118086855A ,2024-05-28

[7]

一种固定晶圆用静电吸盘 [P].

廖海涛 ;

吕军 .

中国专利 :CN211629057U ,2020-10-02

[8]

一种晶圆及晶圆测试方法 [P].

管振兴 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 .

中国专利 :CN111613546A ,2020-09-01

[9]

一种晶圆及晶圆测试方法 [P].

王志勇 ;

严大生 ;

蔡育源 ;

徐传贤 ;

司徒道海 .

中国专利 :CN111613545A ,2020-09-01

[10]

一种晶圆测试系统及晶圆测试方法 [P].

赵齐齐 ;

周杰 ;

田茂 .

中国专利 :CN110211893A ,2019-09-06

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