一种改进的多晶硅薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210534394.X

申请日：

2012-12-12

公开(公告)号：

CN103103488A

公开(公告)日：

2013-05-15

发明(设计)人：

杨利云

申请人：

申请人地址：

312540 浙江省绍兴市新昌县镜岭镇大古年村127号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1402 C23C1458 C23C1418

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-15	公开	公开
2016-08-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736523977 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:201210534394X 申请公布日:20130515

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜组件的制备方法 [P].

夏雨 .

中国专利 :CN102881563A ,2013-01-16

[2]

一种制备多晶硅薄膜的方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN103762173A ,2014-04-30

[3]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

万青 ;

黄晋 ;

龚骏 ;

竺立强 ;

李莉 .

中国专利 :CN102249553B ,2011-11-23

[4]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

朱开贵 ;

陈芳芳 ;

钟汇才 .

中国专利 :CN103346072A ,2013-10-09

[5]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956499A ,2013-03-06

[6]

一种多晶硅薄膜制备方法 [P].

万青 ;

曾梦麟 ;

张雪平 ;

佘鹏 .

中国专利 :CN102071405B ,2011-05-25

[7]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[8]

一种制备多晶硅薄膜的装置 [P].

刘丰 .

中国专利 :CN201444476U ,2010-04-28

[9]

制造多晶硅薄膜的方法 [P].

严枰镕 .

中国专利 :CN101317249B ,2008-12-03

[10]

一种低温多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

余毅 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711918A ,2024-03-15

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