一种制备多晶硅薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110461864.X

申请日：

2011-12-31

公开(公告)号：

CN103762173A

公开(公告)日：

2014-04-30

发明(设计)人：

赵淑云郭海成王文

申请人：

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山工业园北园中路11号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382

代理人：

苗青盛;王凤华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101742850945 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:201110461864X 申请公布日:20140430
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582578437 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:201110461864X 申请日:20111231
2014-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜的制备方法 [P].

彭思君 ;

吴建宏 ;

刘冲 ;

严晓龙 .

中国专利 :CN104167349A ,2014-11-26

[2]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956499A ,2013-03-06

[3]

一种低温多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

余毅 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711918A ,2024-03-15

[4]

一种低温多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

余毅 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711918B ,2024-04-09

[5]

多晶硅薄膜 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956678A ,2013-03-06

[6]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[7]

一种多晶硅薄膜组件的制备方法 [P].

夏雨 .

中国专利 :CN102881563A ,2013-01-16

[8]

一种改进的多晶硅薄膜的制备方法 [P].

杨利云 .

中国专利 :CN103103488A ,2013-05-15

[9]

一种基于金属诱导的多晶硅薄膜的制备方法 [P].

翟小利 ;

谭瑞琴 ;

庄福强 ;

宋伟杰 ;

王维燕 ;

黄金华 ;

徐铁峰 .

中国专利 :CN103199151A ,2013-07-10

[10]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

万青 ;

黄晋 ;

龚骏 ;

竺立强 ;

李莉 .

中国专利 :CN102249553B ,2011-11-23

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