电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320747322.3
申请日
2013-11-22
公开(公告)号
CN203559160U
公开(公告)日
2014-04-23
发明(设计)人
安广野 郭校亮 王登科 姜大川 谭毅
申请人
申请人地址
266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
IPC主分类号
C30B2806
IPC分类号
C30B2906 C01B33037
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置及方法 [P]. 
安广野 ;
郭校亮 ;
王登科 ;
姜大川 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104651930A ,2015-05-27
[2]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备 [P]. 
王登科 ;
安广野 ;
姜大川 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203559158U ,2014-04-23
[3]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104651929B ,2015-05-27
[4]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的设备 [P]. 
安广野 ;
王登科 ;
姜大川 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203559159U ,2014-04-23
[5]
电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
姜大川 .
中国专利 :CN203440096U ,2014-02-19
[6]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备 [P]. 
谭毅 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
姜大川 ;
王登科 .
中国专利 :CN103741210A ,2014-04-23
[7]
电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
张晓峰 .
中国专利 :CN203440097U ,2014-02-19
[8]
一种电子束熔炼去除多晶硅铸锭底料中杂质氧的方法 [P]. 
姜大川 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
王登科 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104649277A ,2015-05-27
[9]
电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置及工艺方法 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
姜大川 .
中国专利 :CN103435043A ,2013-12-11
[10]
电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置 [P]. 
王登科 ;
郭校亮 ;
姜大川 ;
安广野 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203699922U ,2014-07-09