电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201320531110.1
申请日
2013-08-28
公开(公告)号
CN203440096U
公开(公告)日
2014-02-19
发明(设计)人
谭毅 郭校亮 安广野 姜大川
申请人
申请人地址
266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
IPC主分类号
C01B33037
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置及工艺方法 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
姜大川 .
中国专利 :CN103435043A ,2013-12-11
[2]
电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
张晓峰 .
中国专利 :CN203440097U ,2014-02-19
[3]
电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的方法及装置 [P]. 
谭毅 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
张晓峰 .
中国专利 :CN103420380B ,2013-12-04
[4]
电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置 [P]. 
安广野 ;
郭校亮 ;
王登科 ;
姜大川 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203559160U ,2014-04-23
[5]
电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置及方法 [P]. 
安广野 ;
郭校亮 ;
王登科 ;
姜大川 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104651930A ,2015-05-27
[6]
一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置 [P]. 
唐子凡 ;
张磊 ;
庞大宇 ;
肖承祥 ;
张思源 .
中国专利 :CN209161503U ,2019-07-26
[7]
电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置 [P]. 
王登科 ;
郭校亮 ;
姜大川 ;
安广野 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203699922U ,2014-07-09
[8]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备 [P]. 
王登科 ;
安广野 ;
姜大川 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203559158U ,2014-04-23
[9]
一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104651929B ,2015-05-27
[10]
一种降低电子束熔炼多晶硅能耗的装置与方法 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
石爽 ;
李鹏廷 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104528734A ,2015-04-22