光致抗蚀剂显影剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310115315.2

申请日：

2003-11-19

公开(公告)号：

CN1251030C

公开(公告)日：

2004-06-09

发明(设计)人：

朴赞硕金吉来朴春镐金敬娥

申请人：

申请人地址：

韩国仁川广域市

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司

代理人：

王达佐;刘玉华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-06-09	公开	公开
2006-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

用于光敏抗蚀剂层的显影剂 [P].

Ｋ·Ｖ·沃尔登 ;

Ｍ·艾特根 .

中国专利 :CN1109273C ,1996-02-28

[2]

光致抗蚀剂显影剂和使光致抗蚀剂显影的方法 [P].

翁明晖 ;

訾安仁 ;

张庆裕 ;

刘朕与 .

中国专利 :CN112748647A ,2021-05-04

[3]

抗蚀剂用显影剂组合物和形成抗蚀图案的方法 [P].

鹫尾泰史 ;

斋藤宏二 .

中国专利 :CN1802609A ,2006-07-12

[4]

光致抗蚀剂显影液 [P].

山下喜文 ;

川田聪志 ;

野仲徹 .

中国专利 :CN1392973A ,2003-01-22

[5]

用于抗蚀剂的显影剂组合物以及用于形成抗蚀剂图案的方法 [P].

鹫尾泰史 ;

斋藤宏二 .

中国专利 :CN1809791B ,2006-07-26

[6]

正型光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

尹锡壹 ;

金圣培 ;

郑宗铉 ;

朴熙珍 ;

辛成健 ;

张锡唱 ;

金玮溶 ;

许舜范 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN101017333A ,2007-08-15

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071266A ,2007-11-14

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071267B ,2007-11-14

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金柄郁 ;

俞载元 ;

郭恩珍 ;

金云龙 .

中国专利 :CN101727000A ,2010-06-09

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071268A ,2007-11-14

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