用于快速脉冲气体输送的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580013678.6

申请日：

2015-02-11

公开(公告)号：

CN106103796A

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

丁军华 M·拉巴锡 T-C·李

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 C23C16448

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

李隆涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690450518 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2015800136786 申请日:20150211
2019-10-22	授权	授权
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

快速脉冲气体传输系统及其方法 [P].

丁军华 ;

M·L·勒巴希 ;

T-C·李 .

中国专利 :CN103608486A ,2014-02-26

[2]

用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法 [P].

丁军华 ;

M·勒巴塞伊 ;

G·希尔 .

中国专利 :CN111670420B ,2020-09-15

[3]

利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备 [P].

M·勒巴塞伊 ;

M·J·夸拉提洛 ;

丁军华 .

中国专利 :CN112654733A ,2021-04-13

[4]

快速脉冲气体输送的系统及方法 [P].

丁军华 .

中国专利 :CN103221576A ,2013-07-24

[5]

用于脉冲气体输送的方法和设备 [P].

丁军华 ;

M·勒巴塞伊 .

中国专利 :CN113574204A ,2021-10-29

[6]

多通道脉冲气体输送系统的方法和装置 [P].

丁军华 ;

S·本尼蒂特 ;

J·皮塞拉 .

中国专利 :CN103221575A ,2013-07-24

[7]

用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法 [P].

潘阳 .

:CN121122993A ,2025-12-12

[8]

输送气体脉冲的气体阀门和方法 [P].

扬·范德齐 .

中国专利 :CN1176686A ,1998-03-18

[9]

一种气体增压输送系统及方法 [P].

陈经平 ;

漆祥金 ;

王贤 .

中国专利 :CN119737567A ,2025-04-01

[10]

用于测定气体的系统和方法 [P].

陈正博 ;

陈楠楠 ;

王蒙利 .

中国专利 :CN107228693B ,2017-10-03

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