用于脉冲气体输送的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080021088.9

申请日：

2020-03-26

公开(公告)号：

CN113574204A

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

丁军华 M·勒巴塞伊

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 F17D102 F17D301 F17D318 F17D500

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

党晓林

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	公开	公开
2021-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200326

共 50 条

[1]

多通道脉冲气体输送系统的方法和装置 [P].

丁军华 ;

S·本尼蒂特 ;

J·皮塞拉 .

中国专利 :CN103221575A ,2013-07-24

[2]

用于快速脉冲气体输送的系统和方法 [P].

丁军华 ;

M·拉巴锡 ;

T-C·李 .

中国专利 :CN106103796A ,2016-11-09

[3]

用于气体输送的方法和设备 [P].

叶祉渊 ;

金以宽 .

中国专利 :CN103518005B ,2014-01-15

[4]

利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备 [P].

M·勒巴塞伊 ;

M·J·夸拉提洛 ;

丁军华 .

中国专利 :CN112654733A ,2021-04-13

[5]

用于控制气体输送的方法和设备 [P].

D·E·怀特 ;

J·R·F·巴特利 ;

J·D·柯里 ;

I·D·梅金森 ;

A·E·麦考利 ;

R·J·纳特斯 .

中国专利 :CN107427651B ,2017-12-01

[6]

快速脉冲气体输送的系统及方法 [P].

丁军华 .

中国专利 :CN103221576A ,2013-07-24

[7]

脉冲气体传送的控制和方法 [P].

P·梅内吉尼 .

中国专利 :CN102791906B ,2012-11-21

[8]

快速脉冲气体传输系统及其方法 [P].

丁军华 ;

M·L·勒巴希 ;

T-C·李 .

中国专利 :CN103608486A ,2014-02-26

[9]

用于产生气体脉冲的方法和装置 [P].

保利·约凯拉 ;

基莫·萨沃莱宁 .

中国专利 :CN100544841C ,2006-09-27

[10]

用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法 [P].

潘阳 .

:CN121122993A ,2025-12-12

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