快速脉冲气体输送的系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180056074.1

申请日：

2011-09-28

公开(公告)号：

CN103221576A

公开(公告)日：

2013-07-24

发明(设计)人：

丁军华

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C16455 C23C16448 G05D706

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

张文达

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101509122091 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2011800560741 申请日:20110928
2016-03-02	授权	授权
2013-07-24	公开	公开

共 50 条

[1]

用于快速脉冲气体输送的系统和方法 [P].

丁军华 ;

M·拉巴锡 ;

T-C·李 .

中国专利 :CN106103796A ,2016-11-09

[2]

多通道脉冲气体输送系统的方法和装置 [P].

丁军华 ;

S·本尼蒂特 ;

J·皮塞拉 .

中国专利 :CN103221575A ,2013-07-24

[3]

用于脉冲气体输送的方法和设备 [P].

丁军华 ;

M·勒巴塞伊 .

中国专利 :CN113574204A ,2021-10-29

[4]

快速脉冲气体传输系统及其方法 [P].

丁军华 ;

M·L·勒巴希 ;

T-C·李 .

中国专利 :CN103608486A ,2014-02-26

[5]

输送气体脉冲的气体阀门和方法 [P].

扬·范德齐 .

中国专利 :CN1176686A ,1998-03-18

[6]

用于原子层刻蚀的快速气体输送系统和方法 [P].

潘阳 .

:CN121122993A ,2025-12-12

[7]

利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备 [P].

M·勒巴塞伊 ;

M·J·夸拉提洛 ;

丁军华 .

中国专利 :CN112654733A ,2021-04-13

[8]

一种气体输送柜及气体输送设备 [P].

顾鑫 ;

吴凯健 ;

李海宝 .

中国专利 :CN223121212U ,2025-07-18

[9]

脉冲输送清洁系统和方法 [P].

S·A·格雷厄姆 ;

S·A·约翰逊 .

美国专利 :CN117753125A ,2024-03-26

[10]

脉冲输送清洁系统和方法 [P].

S·A·格雷厄姆 ;

S·A·约翰逊 .

中国专利 :CN113924155A ,2022-01-11

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