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连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021644542.X
申请日：
2020-08-10
公开(公告)号：
CN212864967U
公开(公告)日：
2021-04-02
发明(设计)人：
浦招前
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
IPC主分类号：
C23C1654
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-02 | 授权 | 授权 |