聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910609647.7

申请日：

2019-07-08

公开(公告)号：

CN112194780A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

王静肖楠

申请人：

申请人地址：

363118 福建省厦门市海沧区海沧大道567号厦门中心E座19楼1904室

IPC主分类号：

C08G6112

IPC分类号：

G03F138 G03F156

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

刘伟;蔡丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 61/12 申请日:20190708

共 50 条

[1]

有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法 [P].

梁一鸣 ;

黎立桂 ;

钟娜 .

中国专利 :CN117946352A ,2024-04-30

[2]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16

[3]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05

[4]

硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

金惠廷 ;

金相均 ;

金瑆焕 ;

金润俊 ;

文俊怜 ;

宋炫知 .

中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01

[5]

含芘侧基聚合物和硬掩膜组合物及图案形成方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN110872375A ,2020-03-10

[6]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

中国专利 :CN114424122A ,2022-04-29

[7]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

韩国专利 :CN114424122B ,2025-12-12

[8]

聚合物和硬掩模组合物以及形成图案的方法 [P].

朴昭姸 ;

金永珉 ;

兪龙植 .

中国专利 :CN111378084A ,2020-07-07

[9]

聚合物以及包含该聚合物的硬掩膜用组合物 [P].

金烔永 ;

赵庸桓 .

韩国专利 :CN113637162B ,2024-04-19

[10]

聚合物以及包含该聚合物的硬掩膜用组合物 [P].

金烔永 ;

赵庸桓 .

中国专利 :CN113637162A ,2021-11-12

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