有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410018059.7

申请日：

2024-01-05

公开(公告)号：

CN117946352A

公开(公告)日：

2024-04-30

发明(设计)人：

梁一鸣黎立桂钟娜

申请人：

广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

申请人地址：

510700 广东省广州市黄埔区连云路388号

IPC主分类号：

C08G10/00

IPC分类号：

G03F7/00 G03F7/20 G03F7/004

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

杜寒宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-30	公开	公开
2024-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C08G 10/00申请日:20240105

共 50 条

[1]

聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN112194780A ,2021-01-08

[2]

硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

金惠廷 ;

金相均 ;

金瑆焕 ;

金润俊 ;

文俊怜 ;

宋炫知 .

中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01

[3]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16

[4]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05

[5]

聚合物、有机膜组合物及图案形成方法 [P].

林栽范 .

中国专利 :CN111295409A ,2020-06-16

[6]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

中国专利 :CN112213919A ,2021-01-12

[7]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

日本专利 :CN112213919B ,2024-09-27

[8]

单体、聚合物、有机膜组合物以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

中国专利 :CN111315724A ,2020-06-19

[9]

聚合物、有机膜组成物以及形成图案的方法 [P].

郑铉日 ;

金瑆焕 ;

金昇炫 ;

朴裕信 ;

林栽范 .

中国专利 :CN109983053A ,2019-07-05

[10]

含芘侧基聚合物和硬掩膜组合物及图案形成方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN110872375A ,2020-03-10

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