含芘侧基聚合物和硬掩膜组合物及图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910619626.3

申请日：

2019-07-10

公开(公告)号：

CN110872375A

公开(公告)日：

2020-03-10

发明(设计)人：

王静肖楠

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号

IPC主分类号：

C08G6102

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218

代理人：

赖秀华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-10	公开	公开
2020-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 61/02 申请日:20190710

共 50 条

[1]

含萘侧基聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及图案形成方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN110862497B ,2020-03-06

[2]

聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN112194780A ,2021-01-08

[3]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16

[4]

含芴基结构聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物与应用 [P].

李禾禾 ;

毛鸿超 ;

王静 ;

曾成财 ;

王雪枫 ;

肖清凯 ;

黄少杰 ;

宋里千 ;

肖楠 .

中国专利 :CN120441788A ,2025-08-08

[5]

含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法 [P].

林国清 ;

王静 ;

毛鸿超 ;

李禾禾 ;

马丽丽 .

中国专利 :CN118930777B ,2025-08-15

[6]

含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法 [P].

林国清 ;

王静 ;

毛鸿超 ;

李禾禾 ;

马丽丽 .

中国专利 :CN118930777A ,2024-11-12

[7]

有机聚合物、碳硬掩膜组合物和形成图案的方法 [P].

梁一鸣 ;

黎立桂 ;

钟娜 .

中国专利 :CN117946352A ,2024-04-30

[8]

一种含苯并呋喃侧基聚合物及其制备方法和抗蚀剂下层膜组合物及图案形成方法 [P].

李禾禾 ;

毛鸿超 ;

王静 ;

陈福音 ;

李慧娟 ;

陆潇波 ;

胡林枫 ;

王心鲁 .

中国专利 :CN120365532A ,2025-07-25

[9]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05

[10]

硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

金惠廷 ;

金相均 ;

金瑆焕 ;

金润俊 ;

文俊怜 ;

宋炫知 .

中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01

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