绝缘体上硅射频器件及绝缘体上硅衬底

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210564175.6
申请日
2012-12-21
公开(公告)号
CN103022054A
公开(公告)日
2013-04-03
发明(设计)人
李乐 许丹
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号
H01L2712
IPC分类号
H01L2906
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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绝缘体上硅射频器件及其绝缘体上硅衬底 [P]. 
李乐 .
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绝缘体上硅射频开关器件结构 [P]. 
刘张李 ;
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